发明名称 LINEAR LIGHT SOURCE GENERATING DEVICE AND EXPOSURE DEVICE HAVING SAME
摘要 본 발명의 평행 선광원 발생창치는, 광원과; 상기 광원을 평행 면광원으로 변환시키는 평행 면광원 변환시스템과; 상기 평행 면광원을 선광원으로 변환시키는 선광원 변환시스템과; 상기 선광원을 평행 선광원으로 변환시키는 평행 선광원 변환시스템으로 구성된다. 경우에 따라서는 광원이 평행 면광원이 아닌 일반 산란광 또는 반 평행광도 기능이 가능하므로 광원을 평행 면광원으로 변환시키는 평행 면광원 변환시스템은 생략을 하는 경우가 많다. 그러나 보다 효율적인 제품을 얻기 위하여서는 평행 면광원 변환시스템이 있는 것이 유리하다.
申请公布号 KR20160101941(A) 申请公布日期 2016.08.26
申请号 KR20167017134 申请日期 2014.12.01
申请人 SEONG, NAK HOON 发明人 SEONG, NAK HOON
分类号 G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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