发明名称 Verfahren zur Ablagerung waermefester Metalle
摘要
申请公布号 DE1621330(A1) 申请公布日期 1971.05.13
申请号 DE19671621330 申请日期 1967.09.20
申请人 RCA CORP. 发明人 ALBERT AMICK,JAMES
分类号 C23C16/02;C23C16/14;H01L21/00;H01L23/522;H01L49/02 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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