发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01246844(A) 申请公布日期 1989.10.02
申请号 JP19880075200 申请日期 1988.03.29
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址