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发明名称 FORMING METHOD OF CELL CONTACT PATTERN
摘要
申请公布号 JPH04109626(A) 申请公布日期 1992.04.10
申请号 JP19900226760 申请日期 1990.08.30
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IKEGAMI NAOKATSU
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/00 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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