摘要 |
동일 기판 위에 복수 종류의 회로를 형성하고, 복수 종류의 회로의 특성에 각각 맞춘 복수 종류의 박막 트랜지스터를 구비한 발광 장치를 제공하는 것을 과제의 하나로 한다. 화소용 박막 트랜지스터로서 소스 전극층 및 드레인 전극층 위에 중첩하는 산화물 반도체층을 갖는 역코플래너형을 사용하고, 구동 회로용 박막 트랜지스터로서 채널 스톱형을 사용하고, 화소용 박막 트랜지스터와 전기적으로 접속하는 발광 소자와 중첩하는 위치에 컬러 필터층을 박막 트랜지스터와 발광 소자의 사이에 형성한다. |