ENHANCED INTEGRITY PROJECTION LENS ASSEMBLY

摘要

본 발명은 하류측 방향에서 위치된 이미지 평면 상으로 복수의 하전 입자 빔렛을 안내하기 위한 투사 렌즈 조립체 모듈 및 이런 투사 렌즈 조립체를 조립하는 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 향상된 구조적 완전성 및/또는 그 최하류측 전극의 증가된 배치 정밀도를 갖는 모듈형 투사 렌즈 조립체를 개시하고 있다.