| 摘要 |
본 발명은 케이블을 보관하는 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 내부에 수납공간을 가지며 제1방향으로 길게 연장되는 제1덕트와 상기 제1덕트의 상부에 위치되고 내부에 수납공간을 가지며 상기 제1방향으로 길게 연장되는 제2덕트와 그리고 상기 제1덕트와 상기 제2덕트의 사이에 위치하며 상기 제1덕트와 상기 제2덕트를 결합시키는 제1결합 플레이트를 포함하는 케이블 수납 유닛을 포함한다. |
