| 主权项 |
1.一种在半导体晶圆(10)上提供至少一带有半导体 品圆识别资讯之区域之方法, 其特征为下列步骤 - 提供半导体晶圆(10)以及 -提供具磁性装置(14)之至少一区域,其中该磁性装 置(14)藉由磁性离子(16)之离子植入提供。 2.如申请专利范围第1项之方法,其中该磁性装置(14 )在接近半导体晶圆边缘(24)放置。 3.如申请专利范围第1项之方法,其中该磁性装置(14 )放置在半导体晶圆表面之内部区域,其中具有磁 性读取能力之真空夹头装置可夹住该半导体晶圆( 10)。 4.如申请专利范围第1项之方法,其特征为使用至少 一膜层(20,22)覆盖磁性装置(14)之步骤。 图式简单说明: 图1系为由先前技艺技术所标记的半导体晶圆之概 略剖面检视图; 图2系为根据本发明具有磁性性质之半导体晶圆之 一第一具体实施例的剖面检视图; 图3系为根据本发明具有磁性性质之半导体晶圆之 一第二具体实例之剖面检视图; 图4系为根据本发明之一系统之剖面检视图;以及 图5系为根据本发明之一系统之顶端检视图。 |
