| 主权项 |
1.一种溅射靶的生产管理系统,至少具备有:可让用以订购藉由溅射法而在所定的对象物上形成薄膜时所使用的溅射靶的订购的复数靶使用者侧的通讯终端机;及根据靶使用者的订购生产溅射靶的靶制造厂商侧的通讯终端机;及管理系统全体的主电脑,而各装置系藉由所定通讯线路进行连接,其特征为:前述主电脑,具备有:至少可储存:用以个别辨识前述复数靶使用者的使用者辨识资讯,用以个别辨识可当作前述溅射靶的底座使用并贴附所定靶材的支撑板的辨识资讯,可登记包含有各支撑板别地做为溅射靶所使用的次数及当时所贴附的靶材的材质,品种种类等使用履历的履历资讯等资讯的记忆装置;以及对照前述使用者辨识资讯判断是否为符合所定条件的使用者的使用者辨识资讯认证装置,前述靶使用者侧的通讯终端机,在藉由前述使用者辨识资讯认证装置确认前述使用者为符合所定条件的使用者时,便可使其存取储存于前述主电脑的资讯,前述履历资讯,在随着支撑板被做为溅射靶而反覆地进行再生加工的同时,即根据来自前述的靶制造厂商的通讯终端机的资讯输入进行追加更新。2.如申请专利范围第1项所记载之溅射靶的生产管理系统,其中前述记忆装置中,储存有靶的生产资讯,显示包含前述靶制造厂商所进行的由使用者所订购的溅射靶的支撑板的再生加工或新品准备等生产状况,前述靶生产资讯,随着生产程序移行至下一程序,乃根据来自靶制造厂商的通讯终端机的资讯输入而被更新。3.如申请专利范围第1项或第2项所记载之溅射靶的生产管理系统,其中前述记忆装置中储存有:可显示由前述靶制造厂商所进货之溅射靶在前述靶使用者侧的使用状况的靶使用资讯,前述靶使用资讯,系随着溅射靶被装设于溅射装置而开始使用,可根据来自靶使用者侧的通讯终端机的资讯输入而进行更新。4.如申请专利范围第1项或第2项所记载之溅射靶的生产管理系统,其中前述靶制造厂商的通讯终端机,系由配置在与溅射靶的生产有关的各部署的复数通讯终端机所构成,而各通讯终端机系藉由区域网路等通讯装置与前述主电脑相连接。5.如申请专利范围第1项或第2项所记载之溅射靶的生产管理系统,其中具备有可防止未拥有存取权的靶使用者的通讯终端机对前述主电脑的非正当存取的非正当存取防止机构机能。6.一种使用于溅射靶生产管理系统的主电脑,系可让用以订购藉由溅射法而在所定的对象物上形成薄膜时所使用的溅射靶的复数的靶使用者侧的通讯终端机,及根据靶使用者的订购生产溅射靶的靶制造厂商侧的通讯终端机,藉由所定的通讯线路进行连接,以管理系统全体的主电脑,其特征为具备有:至少可储存:用以个别辨识前述复数靶使用者的使用者辨识资讯、与可被当作前述溅射靶的底座使用,并可贴附所定靶材的支撑板相关,用以个别辨识支撑板的辨识资讯、可用以登记包含各支撑板做为溅射靶反覆再生使用的次数及当时所贴附的靶材的材质品种种类等使用履历的履历资讯等的记忆装置;以及对照前述使用者辨识资讯判断是否为符合所定条件的使用者的使用者辨识资讯认证装置,前述靶使用者侧的通讯终端机,在藉由前述使用者辨识资讯认证装置确认前述使用者为符合所定条件的使用者时,便可使其存取储存于前述主电脑的资讯,前述履历资讯,在随着支撑板被做为溅射靶反覆地进行再生加工的同时,则根据来自前述的靶制造厂商的通讯终端机的资讯输入进行追加更新。7.如申请专利范围第6项所记载之使用于溅射靶的生产管理系统的主电脑,其中具备有可根据前述履历资讯判断支撑板之再利用的可否的再生判断机能。8.如申请专利范围第6项或第7项所记载之使用于溅射靶的生产管理系统的主电脑,其中具备有:根据包含有由前述靶使用者所传送之使用于下回的溅射靶的靶材的材质品种的种类以及再生使用的支撑板的辨别资讯的预约订购资讯,作成溅射靶的生产日程表的生产日程表作成装置,所作成之生产日程表,在被储存至前述记忆装置的同时,会被传送至靶制造厂商的通讯终端机中。9.一种用以记录溅射靶的生产管理系统用程式的媒体,可记录于主电脑上执行的程式,而该主电脑可让用以订购藉由溅射法而在所定的对象物上形成薄膜时所使用的溅射靶的复数靶使用者侧的通讯终端机,及根据靶使用者的订购生产溅射靶的靶制造厂商侧的通讯终端机,藉由所定的通讯线路进行连接,并管理系统全体,其特征为具备有:用以管理生产管理资讯的机能,该管理生产资讯至少包含有:用以个别辨识前述复数靶的使用者的使用者辨识资讯;与被当作前述溅射靶的底座使用,并可贴附所定靶材的支撑板相关,用以个别辨识支撑板的辨识资讯;可用以登记包含各支撑板做为溅射靶的使用次数及当时所贴附的靶材的材质品种种类等使用履历的履历资讯等;及前述使用者藉由前述使用者辨识资讯认证装置,机能确认符合所定条件的使用者时,便准许其存取储存于前述主电脑的资讯的机能;及用以支援前述靶制造厂商或靶使用者的通讯终端机进行前述生产管理资讯输入的机能;及可在前述通讯终端机上阅览储存于前述主电脑的生产管理资讯以及前述已输入之生产管理资讯的机能。图式简单说明:第1图为表示本发明之生产管理系统构成之方块图。第2图为利用本发明之生产管理系统之生产工程的说明图。第3图,为储存于本发明之生产管理系统之记忆装置中的资料图表的一构成例。第4图为表示本发明之生产管理系统中的资讯以及物品流程的说明图。第5图为先前的制造厂商中的生产管理系统。第6图为先前的靶生产工程的说明图。第7图为溅射靶的概略图。 |
