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发明名称 ELEKTRODENMATERIAL ZUM PLASMAAETZEN
摘要
申请公布号 DD210933(A1) 申请公布日期 1984.06.27
申请号 DD19820244097 申请日期 1982.10.19
申请人 TECHNISCHE HOCHSCHULE K.-M.-STADT,DD 发明人 POLL,HANS-ULRICH,DD;STEINRUECKEN,ADELHEID,DD
分类号 H01J37/34;H01L21/302;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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