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发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01319928(A) 申请公布日期 1989.12.26
申请号 JP19880152850 申请日期 1988.06.21
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SATO KOJI;SUKEGAWA TAKESHI;SASAKI TORU;MATSUOKA TAKASHI;KATSUI AKINORI
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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