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发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH0443244(A) 申请公布日期 1992.02.13
申请号 JP19900150001 申请日期 1990.06.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUZUKI KOICHI
分类号 F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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