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发明名称
摘要
申请公布号 JP2696017(B2) 申请公布日期 1998.01.14
申请号 JP19910262287 申请日期 1991.10.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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