| 摘要 |
탄소수 12, 14 혹은 16의 알킬기를 가지는 이미다졸륨 할라이드, 탄소수 14 혹은 16의 알킬기를 가지는 피리디늄 할라이드, 탄소수 14, 16 혹은 18의 알킬기를 가지는 암모늄 할라이드, 탄소수 12, 14 혹은 16의 알킬기를 가지는 베타인 화합물, 탄소수 14, 16 혹은 18의 알킬기를 가지는 아민 옥사이드 화합물 중에서 선택되는 적어도 1종을 포함하는 금속 미세 구조체의 패턴 도괴 억제용 처리액 및 이것을 이용한 금속 미세 구조체의 제조 방법이다. |
