基于激光位移传感器的并联平台振动检测控制装置与方法

摘要

本发明公开了一种基于激光位移传感器的并联平台振动检测控制装置与方法，装置包括并联平台本体单元、振动检测单元以及振动控制单元，并联平台本体单元包括一动平台、一静平台和三个并联分支，每个并联分支包括依次相连的电机、主动杆和从动柔性杆。从动柔性杆上粘贴有多片压电陶瓷片驱动器，静平台周围安装三个激光探测头，用以检测动平台在水平方向上的平动位移和转动角度。电机驱动主动杆和从动柔性杆使动平台定位到目标位置之后，动平台有残余振动，激光探测头检测到动平台的振动信号，通过振动控制单元将控制量施加在压电陶瓷片驱动器上，实现对并联平台残余振动主动控制的目的。具有测量精度高、采样频率高、动态响应快的优点。

主权项

基于激光位移传感器的并联平台振动检测控制装置，其特征在于，包括并联平台本体单元、振动检测单元以及振动控制单元，其中：所述并联平台本体单元包括一动平台、一静平台和三个并联分支，所述动平台为等边三角形，每个边角处均设有转轴；每个并联分支包括依次相连的电机、主动杆和从动柔性杆，其中电机安装在静平台的边沿处，从动柔性杆通过转轴与动平台连接；电机驱动主动杆和从动柔性杆使动平台以定姿态移动定位到目标位置；所述振动检测单元包括若干个用以检测动平台在水平方向上的平动位移和转动角度的激光探测装置和激光位移传感控制器，每个激光探测装置包括激光探测头和定位装置，激光探测头设置在定位装置上，安装在静平台的周围，激光探测头发射的光点均落在动平台的侧边上，其中两个激光探测头的光点落在动平台的同一边；每个激光探测头分别与激光位移传感控制器连接；所述振动控制单元包括数据处理单元、压电驱动放大电源和压电陶瓷片驱动器，所述数据处理单元分别与激光位移传感控制器和压电驱动放大电源相连，压电驱动放大电源与压电陶瓷片驱动器相连；所述压电陶瓷片驱动器设置在每根从动柔性杆上。