于制造半导体装置时的半导体晶圆之金属镶嵌构造之清洗方法

摘要

一种半导体晶圆之金属镶嵌构造之清洗方法，其包含步骤有：使用纯水来处理已经抛光过之晶圆的一制程；以及接着在未使用纯水之下处理该晶圆的一制程。