发明名称 STRIPPING OF PHOTOSETTING PHOTORESIST LAYER
摘要
申请公布号 KR940007781(B1) 申请公布日期 1994.08.25
申请号 KR19860006980 申请日期 1986.08.23
申请人 HOECHST AG. 发明人 STEPHAN, HARTMUT;GEISLER, ULICH
分类号 G03D3/06;G03F7/42;(IPC1-7):G03C1/805 主分类号 G03D3/06
代理机构 代理人
主权项
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