发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR WAFER TRANSFER
摘要
申请公布号 KR0165114(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19900004872 申请日期 1990.04.10
申请人 ALLIED MATERIALS INC. 发明人 COLLINS, KENNETHS
分类号 B65H3/18;B65H5/00;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65H3/18
代理机构 代理人
主权项
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