具有高度匹配定向性的电压－电流探头

摘要

用于测量加在RF负载上的RF功率波的电流、电压和相位的一种方法,该方法考虑到了所述电压和电流采集头的有限长度,对于电压和电流的驻波分量的效应进行了校正。在所述预定发射频率的预定标系数的基础上把电压和电流当作所述电压采集信号和所述电流采集信号的复函数来计算。此外,可以以经过校正的电压值和负载复阻抗为基础获得经过校正的电流。

主权项

1、用于获取以预定射频(RF)施加在RF负载上的RF功率波的电流和电压成分的电流、电压以及相位信息的一种方法，其中具有一个具有一定长度的电压采集头(42)以及一个具有一定长度的电流采集头(52)的电压/电流探头(22)向信号处理器(24)提供电压采集信号VV和电流采集信号Vi，该处理器对所述电压和电流采集信号进行处理并生成所述负载(20)上出现的电压值、电流值、相位值，这些值已经相对于电压和电流的驻波分量效应进行了校正，其特征在于，该方法包括以下步骤在对于预定的射频的预定标参数的基础上，作为电压采集信号和电流采集信号的复函数计算所述电压，以及在对于所述射频的预定标参数的基础上，作为电压采集信号和电流采集信号的复函数计算所述电流。