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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10326772(A) 申请公布日期 1998.12.08
申请号 JP19970151554 申请日期 1997.05.26
申请人 RICOH CO LTD 发明人 ISHIMOTO YUKIYOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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