发明名称
摘要
申请公布号 JP2863962(B2) 申请公布日期 1999.03.03
申请号 JP19920090734 申请日期 1992.04.10
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 AMAMYA KENSUKE;HAKAMATA YOSHIMI;TOKIKUCHI KATSUMI;SAKUMICHI KUNYUKI
分类号 C23C14/48;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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