基底台、测量一基底之一位置之方法以及微影装置

摘要

本发明系关于一种经配置以支撑一具有至少一个基底标记之基底的基底台。具有一位置之该至少一个基底标记可使用一对准系统测量。该基底台具有一光学系统，该光学系统具有一偏离于1之放大因子，进而用于提供一待藉由该对准系统测量之该至少一个基底标记的影像。