| 发明名称 |
做为对准标记之二元弦波次波长光栅 |
| 摘要 |
本发明系关于用于基板上之对准标记，该等对准标记由周期性2维结构阵列组成，该等结构之间隔小于对准射束但大于曝光射束，且该等结构之宽度自阵列之一端至另一端呈弦波变化。 |
| 申请公布号 |
TW200732866 |
申请公布日期 |
2007.09.01 |
| 申请号 |
TW095141850 |
申请日期 |
2006.11.13 |
| 申请人 |
ASML公司 |
发明人 |
理查 乔翰尼斯 法兰西斯克斯 凡 赫伦;RICHARD JOHANNES FRANCISCUS;珊米 穆沙 |
| 分类号 |
G03F9/00(2006.01);H01L21/027(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G03F9/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
荷兰 |
