微影术用洗净剂及使用其形成光阻图型之方法

摘要

至今的界面活性剂作为有效成分之微影术用洗净剂为，提高界面活性剂之浓度时，光阻组成物中之树脂成分会溶解，使光阻图型产生尺寸变化，故必须降低界面活性剂的浓度，但于该低浓度下时具有图型崩坏或缺陷之抑制能力降低之缺点。本发明为藉由含有(A)至少1种选自含氮阳离子性界面活性剂及含氮两性界面活性剂、与(B)含有阴离子性界面活性剂之水性溶液，提供一种即使为低浓度下亦可维持低表面张力，可有效地抑制图型崩坏或缺陷，且提供一种亦可抑制光阻图型的尺寸变动之微影术用洗净剂。