| 摘要 |
광학 모듈(1A)은, 반도체 기판(2)과, 반도체 기판(2)에 고정된 고정부(11) 및 고정부(11)와의 사이에 발생하는 정전력에 의해서, 고정부(11)에 대해서 이동시켜지는 가동부(12)를 가지는 정전 액추에이터(10)와, 가동부(12)에 접속되며, 제1 스프링 정수 K1을 가지는 제1 스프링부(20)와, 제1 스프링부(20)와 반도체 기판(2)과의 사이에 접속되며, 제1 스프링 정수 K1 보다도 큰 제2 스프링 정수 K2를 가지는 제2 스프링부(30)와, 제1 스프링부(20)와 제2 스프링부(30)와의 접속부(13)에 접속된 광학 부품인 가동 미러(5)를 구비한다. 이것에 의해, 정전 액추에이터를 이용하여 안정적으로 또한 고정밀도로 광학 부품을 동작시킬 수 있는 광학 모듈이 실현된다. |
