发明名称 Verfahren zur materialdifferenzierenden elektronenmikroskopischen Abbildung isolierender Oberflaechen mit Hilfe von aus der abzubildenden Oberflaeche durch elektromagnetische Strahlung ausgeloesten Elektronen
摘要 Electron-microscopic projection method of surfaces using electrons freed by electro-magnetic radiation from the projected surfaces, suitable for mineral, glass ceramic and biological testing, features the provision of a coating which is thin in relation to the entry depth of the electrons after which electron microscope projection take places, retaining material differentiation.
申请公布号 DE1934944(A1) 申请公布日期 1970.07.09
申请号 DE19691934944 申请日期 1969.07.10
申请人 BALZERS & PFEIFFER HOCHVAKUUM GMBH 发明人 LIENHARD WEGMANN,DR.;GRIBI,MARCEL;GRABER,ROLF
分类号 H01J37/28;H01J37/285 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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