发明名称 |
MANUFACTURING PROCESS FOR AN INSB THIN FILM SEMICONDUCTOR ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
US3674549(A) |
申请公布日期 |
1972.07.04 |
申请号 |
USD3674549 |
申请日期 |
1969.02.25 |
申请人 |
PIONEER ELECTRONIC CORP. |
发明人 |
MASAHIDE OHSHITA;TSUNEHIRO TSUKAGOSHI |
分类号 |
C23C14/06;H01L31/18;H01L43/10;(IPC1-7):H01L3/20;H01L7/32 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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