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发明名称 PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 EP0953202(A1) 申请公布日期 1999.11.03
申请号 EP19980965162 申请日期 1998.11.17
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER;WINKLER, DIETER;DEGENHARDT, RALF;MUNACK, HARRY
分类号 H01J37/04;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/04 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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