| 发明名称 | 衬底保持装置 | ||
| 摘要 | 本发明的课题在于提供一种衬底保持装置，其可在不使衬底全部区域发生挠曲的情况下保持衬底，并且可简单且低价地制作。所述衬底保持装置具有肘节夹具(30)，该肘节夹具(30)沿衬底的边缘部(P1)而设置，且夹持该衬底的边缘部(P1)而保持衬底。其特征在于，该肘节夹具(30)以衬底(P)的中心(P2)为基准，面对且呈辐射状设置，在各面对部位，沿相反方向拉伸上述衬底的同时夹持衬底(P)。 | ||
| 申请公布号 | CN103726096B | 申请公布日期 | 2016.07.06 |
| 申请号 | CN201310293729.8 | 申请日期 | 2013.07.12 |
| 申请人 | 艾工场股份有限公司;东京化工机株式会社 | 发明人 | 奈良利夫;竹松晴美 |
| 分类号 | C25D17/06(2006.01)I | 主分类号 | C25D17/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 一种衬底保持装置，该衬底保持装置具有多个保持件，该保持件沿衬底的边缘部而设置，并且夹持该衬底的边缘部而保持衬底，其特征在于,这些保持件以上述衬底的中心为基准，相对且呈辐射状设置，在各面对部位，沿相反方向拉伸上述衬底的同时夹持衬底。 | ||
| 地址 | 日本国静冈县 | ||