| 发明名称 |
METHOD OF DOPING DURING EPITAXY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3874952(A) |
申请公布日期 |
1975.04.01 |
| 申请号 |
US19720267880 |
申请日期 |
1972.06.30 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
WOODALL, JERRY M. |
| 分类号 |
H01L21/208;H01L31/00;(IPC1-7):H01L7/38 |
主分类号 |
H01L21/208 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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