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发明名称
ROTARY SUBSTRATE DRIER
摘要
申请公布号
JPH10144651(A)
申请公布日期
1998.05.29
申请号
JP19960312944
申请日期
1996.11.07
申请人
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD
发明人
MURAOKA YUSUKE
分类号
F26B5/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
F26B5/08
代理机构
代理人
主权项
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