发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device using a main vernier pattern formed at a right angle to a subsidiary vernier pattern
摘要
申请公布号 US5017514(A) 申请公布日期 1991.05.21
申请号 US19890441522 申请日期 1989.11.27
申请人 NEC CORPORATION 发明人 NISHIMOTO, SHOZO
分类号 G01D13/10;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66 主分类号 G01D13/10
代理机构 代理人
主权项
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