| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING PLACING ACCURACY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05133746(A) |
申请公布日期 |
1993.05.28 |
| 申请号 |
JP19910300419 |
申请日期 |
1991.11.15 |
| 申请人 |
SHIMIZU CORP |
发明人 |
DEGUCHI TANEOMI;KIKUCHI YUICHI;YABE TORU |
| 分类号 |
E02D7/00;G01B21/00;G01C15/00 |
主分类号 |
E02D7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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