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发明名称 EXHAUST APPARATUS OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE
摘要
申请公布号 KR0123311(Y1) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 KR19950016998U 申请日期 1995.07.11
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 BAEK, SEUNG-HO
分类号 H01L23/34;(IPC1-7):H01L23/34 主分类号 H01L23/34
代理机构 代理人
主权项
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