带有切换窗口的双指示光栅超长位移传感器

摘要

带有切换窗口的双指示光栅超长位移传感器,用于长度计量。带有切换窗口的双指示光栅与由多段光栅尺粘接而成的超长尺,通过机械结构实现相对位移,切换窗口与各段光栅尺上透光区和不透光区的相对位置,决定了那一组指示光栅的输出信号被选择有效,实现了在各段光栅尺接缝处的两组指示光栅的有序的交替切换工作,从而降低了多段光栅尺粘接的技术难度,避免了接缝处光信号的失真,保证了接尺精度,提高了工作速度。

主权项

1、带有切换窗口的双指示光栅超长位移传感器，是由接长尺、指示光栅、光电信号转换器组成的，其特征在于多段超长尺4是由相接端头不需进行精密光学加工的，在两相接端头侧面用金属片贴在一起的多段尺制成的，并且在多段超长尺4上一边刻制有透光和不透光相间分布的信号转换区；带有切换窗口的双指示光栅5是在一块玻璃基板上沿测量方向刻制两组四裂项指示光栅，在该两组指示光栅中间偏下位置刻制一个切换窗口6；带有切换窗口的双指示光栅5，以很小的间隙叠合在多段超长尺4上，两者之间通过机械结构移动，安装时使切换窗口6对准透光和不透光相间分布的信号转换区；带有切换窗口的双指示光栅5的长度，要小于多段超长尺4上的信号转换区的透光区的长度，带有切换窗口的双指示光栅5与多段超长尺4叠合有相对移动时，产生的莫尔条纹信号，由双路光电信号转换器7和判别电路8进行控制处理。