| 主权项 |
1.一种自平坦介质载具移除污染物之方法,包含下列步骤:将该载具装载至一平坦介质载具清洁机器中之一转子之上;旋转该转子;利用下列步骤将一水/表面活性剂混合物经由一入口管路喷洒至该载具之上:将水注入至该入口管线中,量测进入该入口管线之水流,使用一流量计量帮浦将该表面活性剂直接由一储存槽抽至该入口管线中,混合该表面活性剂与水,以得到一表面活性剂/水的混合物,设定该流量计量帮浦之流率,以达到该表面活性剂/水混合物所需之表面活性剂的浓度。2.如申请专利范围第1项之方法,还包括下列步骤:中断抽送的表面活性剂;只对该载具喷洒水,以洗涤该载具。3.如申请专利范围第2项之方法,还包括下列步骤:中断将水注入至该入口管线,利用对该载具喷乾燥空气,而乾燥该载具。4.如申请专利范围第3项之方法,其中该乾燥空气由包含氮气与压缩空气之群组中所选出。5.如申请专利范围第1项之方法,其中该水包含去离子水。6.如申请专利范围第1项之方法,还包含当朝向该载具喷洒该混合物时,以1-50 rpm旋转该转子的步骤。7.如申请专利范围第1项之方法,还包含利用该计量帮浦之调整操作,调整欲抽至该入口管线中之表面活性剂的流率。8.如申请专利范围第1项之方法,其中经由并在一混合控制阀的控制下,将该表面活性剂与水注入至该入口管线中。9.一种清洁平坦介质载具之装置,包含:一固定于一室中且可旋转的转子;一第一内侧的喷嘴阵列与一第一外侧喷嘴阵列,经配置以将一液体喷洒至该转子上之一介质之上;一第一控制阀,藉由一第一液体管路连接至该第一内侧喷嘴阵列;一第一水入口管线,以对该第一控制阀提供水;一第一流量计,以经由该第一水入口管线量测水流;一第二控制阀,利用一第二液体管路连接至该第一外侧喷嘴阵列;一第二水入口管路,以对该第二控制阀提供水;一第二流量计,以经由该第二水入口管路量测水流;一表面活性剂储存槽;一连接该表面活性剂储存槽与该第一控制阀之第一表面活性剂注入管路;一在该第一表面活性剂注入管路中之第一计量帮浦,以直接自该表面活性剂储存槽将该表面活性剂以一可控制之抽取速率抽至该第一控制阀;一连接该表面活性剂储存槽与该第二控制阀之第二表面活性剂注入管路;一在该第二表面活性剂注入管路中之第二计量帮浦,以直接自该表面活性剂储存槽将该表面活性剂以一可控制之抽取速率抽至该第二控制阀;一与该第一与该第二水入口管路连接之加压水水源。10.如申请专利范围第9项之装置,还包含一围绕该室之外罩。11.如申请专利范围第9项之装置,还包含一与该水源连接之昇压帮浦,以对该第一与该第二水入口管路提供一所需之入口水压。12.如申请专利范围第9项之装置,其中该第一与该第二计量帮浦之流率为可个别地控制的,以在各该第一与该第二液体管路中提供一所需之表面活性剂浓度。13.如申请专利范围第9项之装置,还包含一连接于接近该第一控制阀之该第一表面活性剂注入管路与该表面活性剂储存槽间之表面活性剂返回管路,以对该表面活性剂提供返回该表面活性剂储存槽之返回路径。14.如申请专利范围第9项之装置,还包含连接于接近该第一控制阀之该第一水入口与该水源间之回收路径,以对水提供一返回水源。15.如申请专利范围第9项之装置,其中该第一控制阀包含一混合控制阀,以混合该水与该表面活性剂。16.一种清洁介质载具之装置,包含:一固定于一室中且可旋转的转子;复数个可插在该转子上之室中的介质载具;配置于该室中之一内喷嘴阵列,以将一液体喷洒至该转子上之介质载具之上;配置于该室中之一外喷嘴阵列,以将一液体喷洒至该转子上之介质载具之上;一第一控制阀,并利用一第一液体管路而与该内喷嘴阵列连接;一第一水入口管路,以对该第一控制阀提供水;一第二控制阀,并利用一第二液体管路而与该外喷嘴阵列连接;一第二水入口管路,以对该第二控制阀提供水;一表面活性剂储存槽;一第一表面活性剂注入管路,连接该表面活性剂储存槽与该第一控制阀;一在该第一表面活性剂注入管路中之第一计量帮浦,以自该表面活性剂储存槽将该表面活性剂以一可控制之抽取速率抽至该第一控制阀;一第二表面活性剂注入管路,连接该表面活性剂储存槽与该第二控制阀;一在该第二表面活性剂注入管路中之第二计量帮浦,以自该表面活性剂储存槽将该表面活性剂以一可控制之抽取速率抽至该第二控制阀;一水源,与该第一与该第二控制阀连接;控制各该第一与第二计量帮浦之抽取速率的装置,以在至各该内侧与外侧喷嘴阵列的在该第一与该第二液体管路内提供之该表面活性剂/水混合物中,产生一所需的表面活性剂浓度。17.如申请专利范围第16项之装置,还包含:一配置于该第一水入口管路之第一流量计,以量测欲提供至该第一控制阀之水的流率;一配置于该第二水入口管路之第二流量计,以量测欲提供至该第二控制阀之水的流率。18.如申请专利范围第16项之装置,其中该第一控制阀包含一混合控制阀,以混合该表面活性剂与该水。19.如申请专利范围第16项之装置,还包含一连接于接近该第一控制间之第一表面活性剂注入管路与该表面活性剂储存槽间之表面活性剂返回管路,以对该表面活性剂提供返回该表面活性剂储存槽之返回路径。20.如申请专利范围第16项之装置,还包含一连接于接近该第一控制阀之第一水入口管路与该水源间之回收管路,以对冰提供一回到水源之回收路径。21.如申请专利范围第16项之装置,还包含:一配置于该第一液体管路之第一配管歧管;复数个与该第一配管歧管连接之内喷嘴歧管,各该内喷嘴歧管具有复数个与其连接之内喷嘴,其中该第一配管歧管将该表面活性剂/水混合物送至该内喷嘴歧管;一配置于该第二液体管路之第二配管歧管;复数个与该第二配管歧管连接之外喷嘴歧管,各该外喷嘴歧管具有复数个与其连接之外喷嘴,其中该第二配管歧管将表面活性剂/水混合物送至该外喷嘴歧管。22.如申请专利范围第16项之装置,其中该第一计量帮浦包含一正位移薄膜帮浦,且其中控制该第一计量帮浦之抽取速率的该装置包含调整抽取速度之装置。23.如申请专利范围第21项之装置,其中控制该第一计量帮浦之抽取速率的该装置还包含调整帮浦冲程长度之装置。24.一种清洁用于夹持平坦介质基板之盒子的系统,各该盒子具有一门,包含:一转子;对称地位于该转子相对侧上的第一与第二盒子夹持组件,各该盒子夹持组件具有至少一盒子夹持位置;对称地位于该转子相对侧上的第一与第二盒门夹持组件,各该盒门夹持组件具有至少一盒门夹持位置。25.如申请专利范围第24项之系统,其中该第一盒门夹持组件,在该盒门夹持组件之一第一侧包含一第一对钩子,且在该盒门夹持组件之一第二侧具有一第二对钩子。26.如申请专利范围第25项之系统,其中各该钩子包含一腿及一附着于该腿之脚。27.如申请专利范围第26项之系统,其中各该对钩子之腿朝向彼此延伸。28.如申请专利范围第27项之系统,其中各该对钩子之脚朝向转子旋转之一轴径向向内地延伸。29.如申请专利范围第24项之系统,其中该第一盒门夹持组件具有第一与第二相间隔之盒门夹持位置,以在一垂直位置中夹持该盒门。30.如申请专利范围第24项之系统,其中第一与第二盒门夹持组件至少之一,在该盒门组件之一底表面上还包含一中心位置的导件。31.如申请专利范围第24项之系统,其中该第一盒门夹持组件夹持一门,其具有一上边缘与一下边缘对准于该转子之半径。32.如申请专利范围第24项之系统,其中各该盒子夹持组件包含两个位置,以夹持该盒子。33.如申请专利范围第24项之系统,其中各该盒门夹持组件包含四个位置,以夹持该盒门。34.如申请专利范围第24项之系统,其中各该盒门位置包含一上门钩、一下门钩与一底缝,以收纳一盒门之底边缘。35.如申请专利范围第34项之系统,其中该缝在其一末端包含一斜坡。36.如申请专利范围第24项之系统,其中该盒门夹持组件包含一贴附于一顶板之左侧板与右侧板、一中间板与一底板,而形成一上隔间与一下隔间,且其中各该隔间具有复数组上、下门钩与复数个底缝。37.如申请专利范围第36项之系统,其中一左上与一左下门钩贴附于该左侧板,且一右上与一右下门钩贴附于该右侧板。38.如申请专利范围第36项之系统,其中当放置于一底缝中时,在平行于该转子之一半径的一垂直平面上配置一盒门。39.如申请专利范围第37项之系统,其中经由以至少一门钩夹持该门之外边缘的离心力,而限制该盒门之移动。40.如申请专利范围第24项之系统,还包含一围壁,且在该围壁中可旋转地固定该转子,并在该围壁中配置复数个喷洒喷嘴,以朝向该转子喷洒一液体。41.一种清洁用于夹持平坦介质基板之盒子与该盒子之门的系统,包含:一转子;一在该转子上之盒门夹持组件,且该盒门夹持组件包含:一上左侧钩及一下左侧钩,及与该上左侧钩及该下左侧钩水平间隔之一上右侧钩和一下右侧钩;各该钩子具有一朝向该盒门夹持组件之中心区域延伸的腿,且各该钩子具有一贴附于该腿上且朝向该转子旋转轴向内延伸之脚。42.一种清洁用于夹持平坦介质基板之盒子的系统,各该盒子具有一门,包含:一转子;在该转子的相对侧上对称地放置之第一与第二盒夹持装置,以夹持该盒子;及在该转子相对侧上对称地放置之第一与第二盒门夹持装置,以夹持该盒子之门。43.一种清洁用于移动与储放半导体晶圆之盒子的清洁系统,包含:一围壁;在该围壁中支撑之可旋转的转子,且该转子具有盒子位置,以夹持该盒子;复数个喷洒歧管,配置成朝向该转子喷洒一清洁或洗涤液体,且该喷洒歧管的至少其中之一具有复数个直线喷洒喷嘴,且亦具有至少一个有角度的喷洒喷嘴。44.如申请专利范围第1项之方法,其中以相对于该旋转转子的一角喷洒至少一些该水混合物。45.如申请专利范围第9项之装置,其中在该第一外侧阵列中之至少一个喷嘴朝向相对于该第一外侧阵列中之其他喷嘴一角度。46.如申请专利范围第40项之系统,其中至少一个喷洒喷嘴为有角度的喷洒喷嘴。图式简单说明:图1为本清洁装置之透视图的前方、上方及右方。图2为本清洁装置之透视图的后方、上方及左方。图3为图1、图2移除盖子后,装置之侧透视图的前方、上方及右方。图4为侧视图之后方、上方及左方。图5为为了解释方便之目的,移除各种元件后之侧视图的后方、上方及左方。图6为图1~图5中所示,本装置某些主要元件之侧视图的前方、上方及右方。图7为自室移除转子后的侧视图。图8为其平面图。图9为示范经由此装置空气移动之截面侧视图。图10(图10A及图10B)为显示在本发明机器中,液体流动与内连接之示意图。图11为图10之帮浦与控制阀系统较佳结构之侧视图的左前方。图12为图11结构之侧视图的右后方。图13为显示喷洒歧管与喷嘴方向之示范上视图。图14为如图1中所示,另一具有清洁系统之转子的透视图。图15为如图14中所示之转子的上视图。图16为图14与图15之转子的门夹持组件之透视图的右上方。图17为其上视图的右侧。图18为图17之门夹持组件的上隔间之爆炸透视图。图19为图18之隔间的底盘之透视图。图20为如图1中所示之系统的围壁、转子与喷洒歧管之透视图。图21-26为如图20中所示,在系统中之喷洒图案、喷嘴方向及容器/转子移动之示意图。图27为图20所示之系统中所使用的角度喷洒喷嘴的透视图。图28为如图27所示之喷嘴的放大截面图。图29为左或右喷洒歧管的一段之透视图。图30为上或下喷洒歧管的一段之透视图。 |
