产生线束之光学照明系统

摘要

一种用以从一光束中于一表面上产生一强度分布的光学系统，该光学系统包含：至少一第一光学元件，其将入射光束分离成复数光束，该等复数光束的至少某一部分在该表面的一第一方向上重叠；至少一第二光学元件，其在该表面的一第二方向上位移该等光束的至少其中之一。