| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Sublimation eines Halbleiterkristalls |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1953247(A1) |
申请公布日期 |
1970.05.14 |
| 申请号 |
DE19691953247 |
申请日期 |
1969.10.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOGA YASUSHI;KOZUKA HIROTSUGU;TAUCHI SHOJI |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/44;C23C16/458;C30B23/00;G12B11/02;H01L21/205;H03J1/02;(IPC1-7):B01J17/28 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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