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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02307260(A) 申请公布日期 1990.12.20
申请号 JP19890129406 申请日期 1989.05.23
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 ICHIKAWA MATSUO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/04;H01L27/11 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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