发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07130732(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930273341 申请日期 1993.11.01
申请人 NEC CORP 发明人 NARITA YOSHITAKA
分类号 C23C16/50;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/318;H01L21/320 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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