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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH07130732(A)
申请公布日期
1995.05.19
申请号
JP19930273341
申请日期
1993.11.01
申请人
NEC CORP
发明人
NARITA YOSHITAKA
分类号
C23C16/50;H01L21/31;H01L21/318;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/318;H01L21/320
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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