| 发明名称 |
APPARATUS FOR CONTINUOUSLY DETERMINING THE DIAMETER OF MASK APERTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3620879(A) |
申请公布日期 |
1971.11.16 |
| 申请号 |
USD3620879 |
申请日期 |
1969.08.13 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO. LTD. |
发明人 |
HITOSHI IMAMURA;HIROSHI ISHINO |
| 分类号 |
C23F1/02;G01B11/10;(IPC1-7):C23F1/02;G01N21/00 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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