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发明名称 VERFAHREN ZUM REGELN DES CHEMISCHEN NIEDERSCHLAGENS VON OBERFLAECHENUEBERZUEGEN AUS DER DAMPFPHASE
摘要
申请公布号 DE2625360(A1) 申请公布日期 1976.12.09
申请号 DE19762625360 申请日期 1976.06.04
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 SUDA,KYO;TAKAMI,KATSUMI;SHINTANI,AKIRA;HASE,SHINOBU;HACHIOJI TOKIO
分类号 G01N15/14;C23C16/52;G01B11/08;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C11/00 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
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