| 发明名称 |
INSPECTION APPARATUS OF PATTERNS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53127753(A) |
申请公布日期 |
1978.11.08 |
| 申请号 |
JP19770042254 |
申请日期 |
1977.04.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NAKASHIMA MASAHITO;FUJIWARA KATSUMI;INAGAKI YUUSHI |
| 分类号 |
G02B27/00;G02B27/02;G02B27/42;G02B27/46;G06K9/00;G06T1/00 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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