发明名称 METHOD OF VAPOUR PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 GB1572018(A) 申请公布日期 1980.07.23
申请号 GB19770009459 申请日期 1977.03.07
申请人 PHILIPS ELECTRONIC & ASSOCIATED INDUSTRIES LTD 发明人
分类号 C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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