乙醇、二氧化氮双敏薄膜气体传感器

摘要

本发明是检测乙醇和二氧化氮双敏薄膜气体传感器。主要应用在汽车电子化、环境污染和气体分析等领域。采用等离子体增强化学气相淀积技术，制备Fe2O3-TiO2-SnO2复合薄膜敏感材料，其元件结构为旁热式，气体最低检出浓度为5ppm以下，它具有灵敏度高、响应快、恢复时间短和易进行大批批量生产等特点。

主权项

1.本发明是一种乙醇——二氧化氮双敏薄膜气体传感器，由金属氧化物薄膜和惰性绝缘基底构成，其特征在于所述金属氧化物薄膜是复合薄膜材料，由三层金属氧化物构成，按顺序分别是三氧化二铁、二氧化钛和二氧化锡层，在二氧化锡层的二端分别设有金电极和铂引线，在绝缘基底层下设有加热丝或加热电阻，提供传感器的工作温度。