| 发明名称 | 涂布装置以及涂布方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种涂布装置以及涂布方法，喷嘴从其前端部喷出所述涂布液；载物台，在其上表面上装载基板；喷嘴移动机构，在载物台上的空间，在横贯载物台面的方向使喷嘴往复移动；箱体，其至少包围载物台而设置；第一供给口设置于箱体的一侧，向所述箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口设置于箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构至少使从第一排气口排出的气体循环，而向箱体内部供给；第二供给口设置于箱体的一侧，向该箱体空间内供给从循环机构供给的气体。 | ||
| 申请公布号 | CN101085438A | 申请公布日期 | 2007.12.12 |
| 申请号 | CN200710102166.4 | 申请日期 | 2007.04.29 |
| 申请人 | 大日本网目版制造株式会社 | 发明人 | 吉田顺一;高村幸宏;川越理史;增市干雄;上野博之;松家毅 |
| 分类号 | B05C5/02(2006.01);B05C11/10(2006.01);B05C13/02(2006.01);B05D1/26(2006.01);B05D7/24(2006.01);H05B33/10(2006.01) | 主分类号 | B05C5/02(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐恕 |
| 主权项 | 1、一种涂布装置，其将涂布液涂布到基板上，其特征在于，包括：喷嘴，从其前端部喷出所述涂布液；载物台，其上表面上用于装载所述基板；喷嘴移动机构，在所述载物台上的空间内，在横贯所述载物台面的方向上使所述喷嘴往复移动；箱体，其至少包围所述载物台；第一供给口，其设置于所述箱体的一侧，向该箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口，其设置于所述箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构，其至少使从所述第一排气口排出的气体循环，并向所述箱体内部供给；第二供给口，其设置于所述箱体的一侧，向该箱体的内部空间供给从所述循环机构供给的气体。 | ||
| 地址 | 日本京都府京都市 | ||