Ａｌ−Ｃｒ−Ｎコーティングを生成するための金属、金属間化合物及びセラミックターゲット材料のアーク蒸着

摘要

本発明は、粉末冶金で製造されたターゲットを用いたアーク析出に関し、構成要素は金属間化合物として存在する。第１金属間化合物と第２金属間化合物を、および／または第１セラミック化合物と第２セラミック化合物を含有する粉末がターゲットの製造のために用いられる。