一种叠层式气敏传感器结构及其制造方法

摘要

本发明提出了一种叠层式气敏传感器结构及其制造方法，具有使用和组合灵活的特点。其采用陶瓷基片作为叠层单元，其上加工有孔，中间固定气敏传感器小球，小球通过引线固定到基片的电极导线上，再通过基片上的引出电极处引出导线；基片间通过粘结材料粘结在一起，基片间的孔是联通的。根据应用要求可以改变基片的类型和组合方式，实现单一功能或多功能的气敏检测。

主权项

一种叠层式气敏传感器结构，其其特征在于：采用陶瓷基片作为叠层单元，由一片或多片基片堆叠构成，其上加工有孔，用于安装传感器敏感小球；基片间的孔互相连通，中间固定传感器敏感小球，敏感小球通过引线固定到基片的电极导线上，再通过基片上的引出电极处引出导线，基片间通过粘结材料粘结在一起。