发明名称 TREATMENT OF SMALL SEMICONDUCT OR WAFERS WITH ETCHANT
摘要
申请公布号 US3615954(A) 申请公布日期 1971.10.26
申请号 USD3615954 申请日期 1967.10.05
申请人 ORTEC INC. 发明人 MAX C. KENNISON
分类号 C23F1/08;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L7/50;C23G1/02 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
地址