| 发明名称 |
CYCLIC POLYISOPRENE PHOTORESIST COMPOSITIONS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3669669(A) |
申请公布日期 |
1972.06.13 |
| 申请号 |
USD3669669 |
申请日期 |
1970.10.28 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
DONALD L. KLEIN;MICHAEL W. MACINTYRE;LAWRENCE J. ROTHMAN |
| 分类号 |
C08K5/28;G03F7/012;H01L21/312;(IPC1-7):G03C1/52 |
主分类号 |
C08K5/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
